• Temel bilgiler
• Öğrenme çıktıları
• İçerik
• Değerlendirme
• İş yükü

Öğrenme çıktıları

Bu dersi başarıyla tamamlayan öğrenciler, şu yetilere sahip olurlar:

1. Temiz oda kullanımı, pozlama ve geliştirme teknikleri, maske deseni oluşturma gibi temel optik litografi bilgilerini edinir.

   Program Çıktılarına Katkıları

   1. Fizik kavramlarını uzmanlık derecesinde açıklamak ve uygulamak
   2. Fizik prensiplerini gerçek hayata uygulamak
   3. Çalışma alanı ile ilgili araştırma metodolojileri ve tekniklerini anlayıp uygulayabilmek
   4. Kendi bulgularını diğerleri ile birlikte detaylı bir şekilde analiz edip, değerlendirebilmek
   5. Hızla değişen teknolojik çevreye adapte olabilmek için bilgi ve yetilerini sürekli geliştirmek
   6. İlerleme raporlarını yayınlanmış doküman, tez, makalelere dayandırarak yazmak.

   Değerlendirme Tipi

   1. Seminer/sunum
2. Oluşturulan desenleri maske üzerine yazdırabilme ve maskedeki deseni farklı alttaşlara aktarabilme.

   Program Çıktılarına Katkıları

   1. Fizik prensiplerini gerçek hayata uygulamak
   2. Orjinal, bağımsız ve kritik düşünme becerisi kazanıp teorik kavram ve araçlar geliştirmek
   3. Disiplinlerarası etkileşim bulunan araştırma takımlarında etkin şekilde çalışmak
   4. Mevcut bilgiyi geliştirme yöntemleri bulmak

   Değerlendirme Tipi

   1. Seminer/sunum
   2. Dönem projesi
3. Kimyasal mikro ve nano üretim tekniklerinden faydalanabilme, elde edilen sonuçları raporlayarak çalışmalarını farklı disiplinlere aktarabilme.

   Program Çıktılarına Katkıları

   1. Çalışma alanı ile ilgili araştırma metodolojileri ve tekniklerini anlayıp uygulayabilmek
   2. Kendi bulgularını diğerleri ile birlikte detaylı bir şekilde analiz edip, değerlendirebilmek
   3. Disiplinlerarası etkileşim bulunan araştırma takımlarında etkin şekilde çalışmak
   4. Hızla değişen teknolojik çevreye adapte olabilmek için bilgi ve yetilerini sürekli geliştirmek

   Değerlendirme Tipi

   1. Seminer/sunum

İçerik
1. hafta:	Mikrolitografinin temelleri ve mikrofabrikasyona giriş.
2. hafta:	Temiz oda kullanma protokolü, kimyasal kullanım talimatları ve atık depolama işlemleri.
3. hafta:	Litografi işlemleri: Islak ve kuru kazıma, fotorezist kaldırma.
4. hafta:	Fotorezist seçimi: rezist modu, kaplama teknikleri, fotomaskenin amaçları.
5. hafta:	Pozlama ve tab etme teknikleri.
6. hafta:	Maske dizayn yazılımı modül 1, proje sunumu.
7. hafta:	Maske dizayn yazılımı modül 2, proje sunumu.
8. hafta:	Vize Sınavı. Dizayn hiyerarşisi.
9. hafta:	Lazer litografi cihazı ile maske yazılması ve maske üretimi.
10. hafta:	Alttaş üzerine fotorezist kaplama, ısıl işlem uygulama ve UV ışına maruz bırakma işlemleri, proje sunumu.
11. hafta:	Maske hizalayıcısı ile desen aktarımı ve kimyasal tab işlemi 1.
12. hafta:	Maske hizalayıcısı ile desen aktarımı ve kimyasal tab işlemi 2, proje sunumu.
13. hafta:	Proje 1: İki adımlı maske tasarımı ve üretimi, proje sunumu.
14. hafta:	Proje 2: İki adımlı litografi işlemi, proje sunumu.
15. hafta*:	-
16. hafta*:	Final Sınavı.
Ders kitapları ve materyaller:	Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39) Hardcover – March 14, 1997
Önerilen kaynaklar:	Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication Paperback – December 17, 2007
	* 15. ve 16. haftalar arası final sınavına hazırlık haftası bulunmaktadır.

Değerlendirme
Değerlendirme tipi	Hafta numarası	Ağırlık (%)
Ara sınavlar (Vizeler):	8	30
Dönem içi diğer çalışmalar:		0
Proje:	6-7-10-12-13-14	30
Ödev:		0
Kısa sınav (Quiz):		0
Final sınavı:	16	40
	Toplam ağırlık:	(%)

İş yükü
Etkinlik	Süre (Haftalık saat)	Toplam hafta sayısı	Dönem boyu toplam iş yükü
Dersler (Yüz yüze öğretme):	3	14
Ders dışı bireysel çalışma:	3	14
Uygulama, Rehberli problem çözme:	3	8
Ödev:	0	0
Dönem projesi:	3	6
Dönem projesi sunumu:	3	6
Kısa sınav (Quiz):	0	0
Ara sınav için bireysel çalışma:	8	2
Ara sınav (Vize):	2	1
Final sınavı için bireysel çalışma:	7	3
Final sınavı:	3	1
		Toplam işyükü:
		Toplam AKTS kredisi:	*
	* AKTS kredisi, toplam iş yükünün 25'e bölümüdür. (1 AKTS = 25 saatlik iş yükü)