ECTS @ IUE ECTS @ IUE ECTS @ IUE ECTS @ IUE ECTS @ IUE ECTS @ IUE ECTS @ IUE

Ders Bilgi Formu ( NANO 616 )

   Temel bilgiler
Ders adı: NEMS ve MEMS
Ders kodu: NANO 616
Öğretim üyesi: Prof. Dr. Fikret YILDIZ
AKTS kredisi: 7.5
GTÜ kredisi: 3 (3+0+0)
Yılı, Dönemi: 1/2, Güz ve Bahar
Dersin düzeyi: Yüksek lisans
Dersin tipi: Alan seçmeli
Öğretim dili: İngilizce
Öğretim şekli: Yüz yüze
Ön koşullar: yok
Staj durumu: Yok
Dersin amacı: Bu ders ile nano ve mikro yapıdaki elektromekanik sistemlerin (MEMS ve NEMS) üretiminde gerekli olan fiziksel ve kimyasal teorik altyapının lisansüstü öğrencilere kazandırılması hedeflenmektedir. Genel temiz oda güvenliği, litografi, katkı (additive) ve çıkartım (subtractive) süreçleri, mikromakineleme teknikleri, derin reaktif iyon aşındırma (DRIE), temiz oda üretimi, paketleme, ölçeklendirme, mikro akışkanlar, küçük ölçekli basınç sensörleri, kütle sensörleri, biyosensörler, radyo frekans anahtarları ve sinyal filtreleri ve atalet sensörleri (ivmeölçer ve jiroskop) gibi konular ele alınacaktır.
   Öğrenme çıktıları Yukarı

Bu dersi başarıyla tamamlayan öğrenciler, şu yetilere sahip olurlar:

  1. NEMS ve MEMS tasarım ve üretim tekniklerini öğrenmek

    Program Çıktılarına Katkıları

    1. Kimyasal, Biyolojik, Radyolojik ve Nükleer (KBRN) kavramlarını uzmanlık derecesinde açıklamak ve KBRN savunmasında uygulamak
    2. BECERİ
    3. Disiplinlerarası etkileşim bulunan araştırma takımlarında etkin şekilde çalışmak
    4. Modern teknolojiyle sürekli öğrenme bilinci geliştirmek

    Değerlendirme Tipi

    1. Yazılı sınav
    2. Ödev
  2. NEMS ve MEMS materyal seçiminin ve fabrikasyon tekniklerinin metodolojileri

    Program Çıktılarına Katkıları

    1. Disiplinlerarası etkileşim bulunan araştırma takımlarında etkin şekilde çalışmak
    2. Modern teknolojiyle sürekli öğrenme bilinci geliştirmek
    3. Araştırma konusu ile ilgili fikir ve bulgularını sözlü ve yazılı olarak etkin şekilde ifade edebilmek

    Değerlendirme Tipi

    1. Yazılı sınav
    2. Ödev
  3. Nano ve Micro Elektromekanik Sistemlerin çalışma prensiplerini öğrenmek.

    Program Çıktılarına Katkıları

    1. Kimyasal, Biyolojik, Radyolojik ve Nükleer (KBRN) kavramlarını uzmanlık derecesinde açıklamak ve KBRN savunmasında uygulamak
    2. BECERİ
    3. Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği

    Değerlendirme Tipi

    1. Yazılı sınav
    2. Ödev
   İçerik Yukarı
1. hafta: MEMS ve NEMS Giriş :Parçalar, Mekanizmalar ve Makineler
2. hafta: Yapı ve Tasarım
3. hafta: MEMS Teknolojileri: İmalat ve Makinede İşleme
4. hafta: MEMS ile İnce Film Ayrıştırma İşlemi
5. hafta: MEMS ile Çok Katman Modifikasyonu
6. hafta: Mikro Boyutta Film Yağlama, Yağlama Türleri
7. hafta: Nano Boyutta Film Yağlama 1
8. hafta: Vize sınavı, Nano Boyutta Film Yağlama 2
9. hafta: Işık Alanı ve Optik Tuzaklama
10. hafta: Optik Cımbızlar ve Makaslar
11. hafta: Mikroimalat
12. hafta: Mikro ve Nano Yapıların Görüntülenmesi
13. hafta: Üç Boyutlu Mikro ve Nano Topografi
14. hafta: Mikro ve Nano Yapıların Görüntülenmesi, AFM, SNOM
15. hafta*: MEMS ve NEMS ile ilgili Uygulama Planları
16. hafta*: Final sınavı
Ders kitapları ve materyaller: S. E. Lyshevski:Nano- and Micro-Electromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering, CRC Press, 2000
Pelesko, J. A. and Bernstein, D. H. Modeling MEMS and NEMS, Chapman and Hall/CRC, 2003
Önerilen kaynaklar: Batra, R. C., Porfiri, M., Spinello, D., 2007: \Review of modeling electrostatically actuated microelectromechanical systems", Smart Materials and Structures, 16(6), R23-R31
M. Gad-El-Hak: Modeling MEMS and NEMS,CRC Press, 2002
  * 15. ve 16. haftalar arası final sınavına hazırlık haftası bulunmaktadır.
Değerlendirme Yukarı
Değerlendirme tipi Hafta numarası Ağırlık (%)
Ara sınavlar (Vizeler): 8 40
Dönem içi diğer çalışmalar: 0
Proje: 0
Ödev: 2-13 20
Kısa sınav (Quiz): 0
Final sınavı: 16 40
  Toplam ağırlık:
(%)
   İş yükü Yukarı
Etkinlik Süre (Haftalık saat) Toplam hafta sayısı Dönem boyu toplam iş yükü
Dersler (Yüz yüze öğretme): 3 14
Ders dışı bireysel çalışma: 3 14
Uygulama, Rehberli problem çözme: 0 0
Ödev: 10 6
Dönem projesi: 0 0
Dönem projesi sunumu: 0 0
Kısa sınav (Quiz): 0 0
Ara sınav için bireysel çalışma: 10 2
Ara sınav (Vize): 2 1
Final sınavı için bireysel çalışma: 15 1
Final sınavı: 2 1
    Toplam işyükü:
    Toplam AKTS kredisi:
*
  * AKTS kredisi, toplam iş yükünün 25'e bölümüdür. (1 AKTS = 25 saatlik iş yükü)
-->